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消息一则 未知真假

马甲爵

魔王撒旦

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1# 大 中 小 发表于 2023-9-10 19:06  只看该作者
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remark 这个词忽然浮现脑中……
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爱猫咪的薛定谔

魔王撒旦

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2# 大 中 小 发表于 2023-9-10 19:36  只看该作者
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你知道深紫外光是 duv 吧

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幻飞一线天

huanwsy

魔王撒旦

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3# 大 中 小 发表于 2023-9-10 19:37  只看该作者
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光刻机原理都是公开的。光机所是研究所，主要也就是搞搞原理样机，而且这还只是euv光刻机的部分技术内容，整机原理样机可能都没有搞出来。
等到原理样机出来，工程化还得找厂家合作，光机所没有批量生产能力，虽然光刻机产量本身也不大。
另外研究性质一些配件可以从过非正常渠道搞到。量产不可能这样。

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bsseven

天外飞仙

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4# 大 中 小 发表于 2023-9-10 20:09  只看该作者
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难的不是技术上的，而是工程上的，降低成本是目标，不在乎成本，用粒子加速器生成光束都可以

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卖哥

银河飞将

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5# 大 中 小 发表于 2023-9-10 20:16  只看该作者
引用:
原帖由 bsseven 于 2023-9-10 20:09 发表
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难的不是技术上的，而是工程上的，降低成本是目标，不在乎成本，用粒子加速器生成光束都可以
不能
除了激光，其他光源的单色性不够好。

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landice

魔头

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6# 大 中 小 发表于 2023-9-11 00:46  只看该作者
都是骗经费吧，即使只是DUV，真能从设备到耗材全产业链自主掌握那也NB了。

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你才是受

大侠

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7# 大 中 小 发表于 2023-9-11 03:28  只看该作者
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多牛逼啊，一个吉林就能单挑蓝星了

不计成本的话用同步辐射慢慢轰也行啊，又不是不能用

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mamania

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8# 大 中 小 发表于 2023-9-11 08:17  只看该作者
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估计是130nm的，马上就能复刻图拉丁奔3了

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LTFYH

银河飞将

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9# 大 中 小 发表于 2023-9-11 10:08  只看该作者
真有突破性意义的话，才给吉林省一等奖和二等奖？那中国得有多强？

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wtdd

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10# 大 中 小 发表于 2023-9-11 10:50  只看该作者
消息我发布，信不信由你

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acoolbat

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11# 大 中 小 发表于 2023-9-11 16:18  只看该作者
光刻机不一定用来做芯片，也可以用来做柔性屏

我认识一个曾在ASML工作十几年的中国专家回国就在用这个技术做柔性屏

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